TY  - JOUR
AU  - Gan, L
AU  - Gomez, Romel
AU  - Castillo, Audie
AU  - Chen, P
AU  - Powell, Cedric
AU  - Jr., William Egelhoff
C2  - Thin Solid Films
DA  - 2002-08-01 00:08:00
LA  - en
M1  - 415
PB  - Thin Solid Films
PY  - 2002
TI  - Ultra-Thin Aluminum Oxide as a Thermal Oxidation Barrier on Metal Films
ER  -