TY  - JOUR
AU  - Orji, Ndubuisi
AU  - Dixson, Ronald
AU  - Fu, Joseph
AU  - Vorburger, Theodore
C2  - Wear
DA  - 2004-12-01
LA  - en
M1  - 257
PB  - Wear
PY  - 2004
TI  - Traceable Pico-Meter Level Step Height Metrology
ER  -