TY  - JOUR
AU  - Bui, Son
AU  - Renegar, Thomas
AU  - Vorburger, Theodore
AU  - Raja, Jayaraman
AU  - Malburg, Mark
C2  - Wear
DA  - 2004-12-01
LA  - en
M1  - 257
PB  - Wear
PY  - 2004
TI  - Internet-Based Surface Metrology Algorithm Testing System
ER  -