TY  - JOUR
AU  - Chang, Kao-Shuo
AU  - Green, Martin
AU  - Suehle, John
AU  - Hattrick-Simpers, Jason
AU  - Takeuchi, Ichiro
AU  - Ohmori, K
AU  - Chikyow, T
AU  - De, S
AU  - Majhi, Prashant
C2  - ECS Transactions
DA  - 2008-01-23
LA  - en
M1  - 13
PB  - ECS Transactions
PY  - 2008
TI  - Combinatorial Methodology for the Exploration of Metal Gate Electrodes on HfO<sub>2</sub> for the Advanced Gate Stack
ER  -