TY  - JOUR
AU  - Whitman, Lloyd
AU  - Joyce, S
AU  - Yarmoff, J
AU  - McFeeley, F
AU  - Terminello, L
C2  - Vacuum
DA  - 1990-01-01
LA  - en
M1  - 41
PB  - Vacuum
PY  - 1990
TI  - The Chemisorption of SiCl<sub>4</sub>, Si<sub>2</sub>Cl<sub>6</sub>, and Chlorine on Si(111) 7&#215;7
ER  -