TY  - JOUR
AU  - Grantham, Steven
AU  - Kriese, Mike
AU  - Platonov, Yuriy
AU  - Ehlers, Bodo
AU  - Jiang, Licai
AU  - Rodriguez, Jim
AU  - Ulrich, Mueller
AU  - khatri, Shayna
AU  - Magruder, Adam
AU  - Tarrio, Charles
C2  - SPIE Conference Proceedings
DA  - 2014-08-01
LA  - en
M1  - 9048
PB  - SPIE Conference Proceedings
PY  - 2014
TI  - Development of an EUVL collector with infrared radiation suppression
ER  -