TY  - JOUR
AU  - Tarrio, Charles
AU  - Grantham, Steven
AU  - Germer, Thomas
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AU  - Lucatorto, Thomas
AU  - Kriese, Mike
AU  - Platonov, Yuriy
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AU  - Rodriguez, Jim
C2  - SPIE Conference Proceedings
DA  - 2014-08-01
LA  - en
M1  - 9048
PB  - SPIE Conference Proceedings
PY  - 2014
TI  - Improved measurement capabilities at the NIST EUV Reflectometry Facility
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