TY  - JOUR
AU  - Nakamura, Nathan
AU  - Szypryt, Paul
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AU  - Alpert, Bradley
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AU  - Vaughan, Courtenay
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AU  - Weber, Joel
AU  - Wheeler, Jason
C2  - Sensors
DA  - 2024-04-30 04:04:00
LA  - en
PB  - Sensors
PY  - 2024
TI  - Nanoscale Three-Dimensional Imaging of Integrated Circuits Using a Scanning Electron Microscope and Transition-Edge Sensor Spectrometer
UR  - https://tsapps.nist.gov/publication/get_pdf.cfm?pub_id=935534
ER  -