TY  - JOUR
AU  - Woodward, John
AU  - Fedynyshyn, T
AU  - Astolfi, D
AU  - Cann, Susan
AU  - Roberts, J
AU  - Leeson, M
C2  - Proc SPIE
DA  - 2007-01-01
LA  - en
M1  - 6519
PB  - Proc SPIE
PY  - 2007
TI  - -Component Segregation in Model Chemically Amplified Resists,-
ER  -