TY  - JOUR
AU  - Kaplan, Simon
AU  - Burnett, J
AU  - Shirley, Eric
AU  - Horowitz, D
AU  - Clauss, W
AU  - Grenville, A
AU  - Van, C
C2  - SPIE
DA  - 2006-01-01
LA  - en
M1  - 6154
PB  - SPIE
PY  - 2006
TI  - High index optical materials for 193 nm immersion lithography
ER  -