TY  - JOUR
AU  - Levine, Zachary
AU  - Grantham, Steven
AU  - Neogi, S
AU  - Frigo, S
AU  - McNulty, I
AU  - Retsch, C
AU  - Wang, Ying-Ju
AU  - Lucatorto, Thomas
C2  - Journal of Applied Physics
DA  - 2001-01-01
LA  - en
M1  - 90
PB  - Journal of Applied Physics
PY  - 2001
TI  - Accurate pattern registration for integrated circuit tomography
ER  -