TY  - JOUR
AU  - Walton, R
AU  - Cavicchi, Richard
AU  - Semancik, Stephen
AU  - Panchapakesan, B
AU  - DeVoe, Don
AU  - Aquino-Class, M
AU  - Allen, J
AU  - Suehle, John
C2  - Proceedings of SPIE
DA  - 1999-01-01
LA  - en
PB  - Proceedings of SPIE
PY  - 1999
TI  - Solid State Gas Microsensors for Environmental and Industrial Monitoring
ER  -