TY  - JOUR
AU  - Wang, Chengqing
AU  - Roberts, J
AU  - Bristol, Robert
AU  - Bunday, B
AU  - Jones, Ronald
AU  - Lin, Eric
AU  - Wu, Wen-Li
AU  - Villarrubia, John
AU  - Choi, Kwang-Woo
AU  - Clarke, James
AU  - Rice, Bryan
AU  - Leeson, Michael
C2  - SPIE
DA  - 2007-01-01
LA  - en
M1  - 263
PB  - SPIE
PY  - 2007
TI  - Line Edge Roughness Characterization of Sub-50nm Structures Using CD-SAXS: Round-Robin Benchmark Results
UR  - https://tsapps.nist.gov/publication/get_pdf.cfm?pub_id=852720
ER  -