TY  - JOUR
AU  - Tsai, V
AU  - Wang, S.
AU  - E., 
AU  - Schneir, J
AU  - Dixson, Ronald
C2  - Applied Physics Letters
DA  - 1997-09-15
LA  - en
M1  - 71
PB  - Applied Physics Letters
PY  - 1997
TI  - Conformal Oxides on Si Surfaces
ER  -