TY  - JOUR
AU  - Orji, Ndubuisi
AU  - Itoh, Hiroshi
AU  - Chumei, 
AU  - Dixson, Ronald
AU  - Schmidt, Sebastian
AU  - Irmer, Bernd
AU  - Walecki, Peter
C2  - Ultramicroscopy
DA  - 2015-12-23
DO  - https://doi.org/10.1016/j.ultramic.2015.12.003
LA  - en
M1  - 162
PB  - Ultramicroscopy
PY  - 2015
TI  - Tip characterization method using multi-feature characterizer for CD-AFM
ER  -