TY  - JOUR
AU  - Vissers, Michael
AU  - Gao, Jiansong
AU  - Kline, Jeffrey
AU  - Sandberg, Martin
AU  - Weides, Martin
AU  - Wisbey, David
AU  - Pappas, David
C2  - Thin Solid Films
DA  - 2012-09-21
DO  - https://doi.org/10.1016/j.tsf.2013.07.046
LA  - en
PB  - Thin Solid Films
PY  - 2012
TI  - Characterization and In-situ Monitoring of Sub-stoichiometric Adjustable TC Titanium Nitride Growth
ER  -