TY  - GEN
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AU  - Balram, Krishna
AU  - Westly, Daron
AU  - Davanco, Marcelo
AU  - Grutter, Karen
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AU  - Ray, Christopher
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AU  - Stavis, Samuel
AU  - Aksyuk, Vladimir
AU  - Liddle, James
AU  - Bryce, Brian
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AU  - Wallin, Christopher
AU  - Gilbert, Ian
AU  - Dill, Kristen
AU  - Kasica, Richard
AU  - Srinivasan, Kartik
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C2  - Handbook (NIST HB), National Institute of Standards and Technology, Gaithersburg, MD
DA  - 2016-10-19
DO  - https://doi.org/10.6028/NIST.HB.160
LA  - en
PB  - Handbook (NIST HB), National Institute of Standards and Technology, Gaithersburg, MD
PY  - 2016
TI  - Nanolithography Toolbox
ER  -