TY  - CONF
AU  - Kline, Regis
AU  - Sunday, Daniel
AU  - Wang, Chengqing
AU  - Wu, Wen-Li
AU  - Settens, Charlie
AU  - Benjamin, Bunday
AU  - Thiel, Brad
AU  - Richard, Matyi
C2  - SPIE, San Jose, CA
DA  - 2013-04-08
LA  - en
PB  - SPIE, San Jose, CA
PY  - 2013
TI  - Critical Dimension small angel X-ray scattering measurements of FinFET and 3D memory structures
ER  -