TY  - JOUR
AU  - Sanford, Norman
AU  - Blanchard, Paul
AU  - White, Ryan
AU  - Vissers, Michael
AU  - Davydov, Albert
AU  - Diercks, D
AU  - Pappas, David
C2  - Micron
DA  - 2016-12-21
LA  - en
PB  - Micron
PY  - 2016
TI  - Laser-assisted atom probe tomography of Ti/TiN films deposited on Si
UR  - https://tsapps.nist.gov/publication/get_pdf.cfm?pub_id=920857
ER  -