TY - JOUR AU - Scherschligt, Julia AU - Fedchak, James AU - Ahmed, Zeeshan AU - Barker, Daniel AU - Douglass, Kevin AU - Eckel, Stephen AU - Hanson, Edward AU - Hendricks, Jay AU - Purdy, Thomas AU - Ricker, Jacob AU - Singh, Robinjeet C2 - Journal of Vacuum Science & Technology A DA - 2018-06-20 DO - https://doi.org/10.1116/1.5033568 LA - en M1 - 36 PB - Journal of Vacuum Science & Technology A PY - 2018 TI - Quantum-based vacuum metrology at NIST ER -