TY  - JOUR
AU  - Orji, Ndubuisi
AU  - Badaroglu, Mustafa
AU  - Barnes, Bryan
AU  - Beitia, Carlos
AU  - Bunday, Benjamin
AU  - Celano, Umberto
AU  - Kline, Regis
AU  - Neisser, Mark
AU  - Obeng, Yaw
AU  - Vladar, Andras
C2  - Nature Electronics
DA  - 2018-10-12
DO  - https://doi.org/10.1038/s41928-018-0150-9
LA  - en
M1  - 1
PB  - Nature Electronics
PY  - 2018
TI  - Metrology for the next generation of semiconductor devices
ER  -