TY - JOUR AU - Ryger, Ivan AU - Artusio-Glimpse, Alexandra AU - Williams, Paul AU - Tomlin, Nathan AU - Stephens, Michelle AU - Spidell, Matthew AU - Rogers, Kyle AU - Lehman, John C2 - IEEE Sensors Journal DA - 2018-08-06 DO - https://doi.org/10.1109/JSEN.2018.2863607 LA - en M1 - 18 PB - IEEE Sensors Journal PY - 2018 TI - Micromachined force balance for optical power measurement by radiation pressure sensing ER -