TY  - JOUR
AU  - Haffner, Christian
AU  - Joerg, Andreas
AU  - Doderer, Michael
AU  - Chelladurai, Daniel
AU  - Mayor, Felix
AU  - Comsin, 
AU  - Fedoryshyn, Yuriy
AU  - Mazur, Mikael
AU  - Burla, Maurizio
AU  - Lezec, Henri
AU  - Aksyuk, Vladimir
AU  - Leuthold, Juerg
C2  - Science Magazine
DA  - 2019-11-15
DO  - https://doi.org/10.1126/science.aay8645
LA  - en
M1  - 366
PB  - Science Magazine
PY  - 2019
TI  - Nano-opto-electro-mechanical switches operated at CMOS-level voltages
ER  -