TY - JOUR AU - Davydov, Albert AU - Shi, Jian AU - Kvit, Alexander AU - Krylyuk, Sergiy AU - Wang, Xudong C2 - Nano Letters DA - 2013-10-04 LA - en M1 - 13 PB - Nano Letters PY - 2013 TI - Electron Microscopy Observation of TiO2 Nanocrystal Evolution in High-Temperature Atomic Layer Deposition ER -