TY  - CONF
AU  - Barnes, Bryan
AU  - Sohn, Martin
AU  - Goasmat, Francois
AU  - Zhou, Hui
AU  - Silver, Richard
AU  - Arceo, Abraham
C2  - OSA Technical Digest, Alexandria, VA
DA  - 2013-06-24
LA  - en
PB  - OSA Technical Digest, Alexandria, VA
PY  - 2013
TI  - Harnessing 3D Scattered Optical Fields for sub-20 nm Defect Detection
ER  -