TY - JOUR AU - McKenney, Christopher AU - Austermann, Jason AU - Beall, James AU - Dober, Bradley AU - Duff, Shannon AU - Gao, Jiansong AU - Hilton, Gene AU - Hubmayr, Johannes AU - Li, Dale AU - Ullom, Joel AU - Van, Jeffrey AU - Vissers, Michael C2 - Review of Scientific Instruments DA - 2018-11-08 DO - https://doi.org/10.1063/1.5037301 LA - en M1 - 90 PB - Review of Scientific Instruments PY - 2018 TI - Tile-and-trim micro-resonator array fabrication optimized for high multiplexing factors ER -