TY  - JOUR
AU  - Marinenko, Ryna
AU  - Turner, Shirley
AU  - Simons, David
AU  - Rabb, Savelas
AU  - Zeisler, Rolf
AU  - Yu, Lee
AU  - Newbury, Dale
AU  - Paul, Rick
AU  - Ritchie, Nicholas
AU  - Leigh, Stefan
AU  - Winchester, Michael
AU  - Richter, Lee
AU  - Meier, Douglas
AU  - Scott, Keana
AU  - Klinedinst, D
AU  - Small, John
C2  - Microscopy and Microanalysis
DA  - 2010-02-01
LA  - en
M1  - 16
PB  - Microscopy and Microanalysis
PY  - 2010
TI  - Characterization of SiGe Films for use as a National Institute of Standards and Technology (NIST) Microanalysis Reference material (RM 8905)
ER  -