TY  - JOUR
AU  - Semancik, Stephen
AU  - Cavicchi, Richard
AU  - Meier, Douglas
AU  - Taylor, C
AU  - Savage, N
AU  - Wheeler, M
C2  - International Chemical Sensor Workshop
DA  - 2003-03-13
LA  - en
PB  - International Chemical Sensor Workshop
PY  - 2003
TI  - Temperature-Controlled MEMS Chemical Microsensors
ER  -