TY  - JOUR
AU  - Maslar, James
AU  - Kimes, William
AU  - Sperling, Brent
C2  - ECS Transactions
DA  - 2011-10-14
LA  - en
M1  - 41
PB  - ECS Transactions
PY  - 2011
TI  - In Situ Gas Phase Diagnostics for Titanium Nitride Atomic Layer Deposition
ER  -