TY  - JOUR
AU  - Kabos, Pavel
AU  - Wallis, Thomas
AU  - Hubner, H
AU  - Humer, I.
AU  - Hochleitner, M.
AU  - Fenner, M.
AU  - Moertelmaier, M.
AU  - Rankl, C.
AU  - Imtiaz, Atif
AU  - Tanbakuchi, H.
AU  - Hinterdorfer, P.
AU  - Smoliner, J.
AU  - Kopanski, Joseph
AU  - Kienberger, F.
C2  - Review of Scientific Instruments
DA  - 2012-01-03
LA  - en
M1  - 111
PB  - Review of Scientific Instruments
PY  - 2012
TI  - Calibrated nanoscale dopant profiling using a scanning microwave microscope.
UR  - https://tsapps.nist.gov/publication/get_pdf.cfm?pub_id=908761
ER  -