TY  - JOUR
AU  - Cizmar, Petr
AU  - Vladar, Andras
AU  - Ming, Bin
AU  - Postek, Michael
C2  - Scanning
DA  - 2008-07-30
LA  - en
M1  - 30
PB  - Scanning
PY  - 2008
TI  - Simulated SEM Images for Resolution Measurement
ER  -