TY  - JOUR
AU  - Woicik, Joseph
AU  - Giubertoni, D.
AU  - Pepponi, G.
AU  - Gennaro, S.
AU  - Bersani, M.
AU  - M., 
AU  - S., 
AU  - Kah, M.
AU  - K., 
AU  - Doherty, R.
AU  - M., 
AU  - Meirer, F.
AU  - Streli, C.
AU  - Pianetta, P.
C2  - Journal of Vacuum Science and Technology
DA  - 2010-05-04
LA  - en
M1  - 28
PB  - Journal of Vacuum Science and Technology
PY  - 2010
TI  - Deactivation of Sub-Melt Laser Annealed Arsenic Ultra Shallow Junctions in Silicon During Subsequent Thermal Treatment
ER  -