TY - JOUR AU - Sayan, Safak AU - Nguyen, Nhan AU - Ehrstein, James AU - Emge, Tom AU - Garfunkel, Eric AU - Croft, Mark AU - Zhao, X AU - Vanderbilt, David AU - Levin, Ira AU - Gusev, Evgeni AU - Kim, Hyunjung C2 - Applied Physics Letters DA - 2005-11-17 LA - en M1 - 86 PB - Applied Physics Letters PY - 2005 TI - Structural, Electronic, and Dielectric Properties of Ultrathin Zirconia Films on Silicon UR - https://tsapps.nist.gov/publication/get_pdf.cfm?pub_id=32146 ER -