TY  - JOUR
AU  - Sayan, Safak
AU  - Nguyen, Nhan
AU  - Ehrstein, James
AU  - Chambers, James
AU  - Visokay, Mark
AU  - Quevedo-Lopez, Manuel
AU  - Colombo, Luigi
AU  - Yoder, T
AU  - Levin, Igor
AU  - Fischer, Daniel
AU  - Paunescu, M
AU  - Celik, Ozgur
AU  - Garfunkel, Eric
C2  - Applied Physics Letters
DA  - 2005-11-22
LA  - en
M1  - 87
PB  - Applied Physics Letters
PY  - 2005
TI  - Effect of Nitrogen on Band Alignment in HfSiON Gate Dielectrics
UR  - https://tsapps.nist.gov/publication/get_pdf.cfm?pub_id=32000
ER  -