TY  - JOUR
AU  - Lindstrom, Richard
AU  - Simons, David
AU  - Bennett, R
AU  - Benbalagh, R.
AU  - MacDonald, Bruce
AU  - Chew, A.
AU  - Gehre, D.
AU  - Hasegawa, H
AU  - Hitzman, C.
AU  - Ko, J.
AU  - Magee, C
AU  - Montgomery, N.
AU  - Peres, P.
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AU  - Yoshikawa, S.
AU  - Schuhmacher, M.
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AU  - Sykes, D.
AU  - Tomita, M.
AU  - Toujou, F.
AU  - Won, J.
C2  - Applied Surface Science
DA  - 2006-11-01
LA  - en
M1  - 252
PB  - Applied Surface Science
PY  - 2006
TI  - Round-Robin Study of Arsenic Implant Dose Measurement in Silicon by SIMS
ER  -