TY  - JOUR
AU  - Vorburger, Theodore
AU  - Dagata, John
AU  - Wilkening, G.
AU  - Iizuka, K
C2  - Annals CIRP
DA  - 1997-01-01 00:01:00
LA  - en
M1  - 47(2)
PB  - Annals CIRP
PY  - 1997
TI  - Industrial Uses of STM and AFM
ER  -