TY  - JOUR
AU  - Knight, Stephen
AU  - Dixon, Ronald
AU  - Jones, Ronald
AU  - Lin, Eric
AU  - Orji, Ndubuisi
AU  - Silver, Richard
AU  - Vladar, Andras
AU  - Wu, Wen-Li
C2  - Journal De Physique Iii
DA  - 2006-10-01 00:10:00
LA  - en
M1  - 7
PB  - Journal De Physique Iii
PY  - 2006
TI  - Advanced Metrology Needs for Nanoelectronics Lithography
ER  -