TY  - CONF
AU  - Campisi, G.
AU  - Roitman, Peter
AU  - Simons, David
AU  - Krull, W.
C2  - Proc., 1991 IEEE International SOI Conference, Vail Valley, CO, USA
DA  - 1991-12-31 00:12:00
LA  - en
PB  - Proc., 1991 IEEE International SOI Conference, Vail Valley, CO, USA
PY  - 1991
TI  - A SIMS Study of the Deuterium Distribution in SIMOX Buried Oxides, Extended Abstract
ER  -