TY - CONF AU - Deiker, Steven AU - Chervenak, James AU - Hilton, Gene AU - Huber, Martin AU - Irwin, Kent AU - Martinis, John AU - Nam, Sae AU - Wollman, David C2 - Proc. Intl. Soc. for Optical Engineering (SPIE), San Diego, CA, USA DA - 2000-12-01 00:12:00 LA - en M1 - 4140 PB - Proc. Intl. Soc. for Optical Engineering (SPIE), San Diego, CA, USA PY - 2000 TI - Development of Arrays of TES X-ray Detectors ER -