TY - JOUR AU - Sayan, Safak AU - Nguyen, Nhan AU - Ehrstein, James AU - Emge, Tom AU - Garfunkel, Eric AU - Croft, Mark AU - Zhou, Xinjian AU - Vanderbilt, David AU - Levin, Igor AU - Gusev, Evgeni AU - Kim, Hyunjung AU - McIntyre, P C2 - Applied Physics Letters DA - 2005-04-01 00:04:00 LA - en M1 - 86 PB - Applied Physics Letters PY - 2005 TI - Structural, Electronic, and Dielectric Properties of Ultrathin Zirconia Films on Silicon ER -