TY - CONF AU - Schlaf, R AU - Emirov, Y AU - Bieber, J AU - Sikder, A AU - Kohlscheen, J AU - Walters, D AU - Islam, M AU - Metha, B AU - Ren, Z AU - Shofner, T AU - Rossi, B AU - Cresswell, Michael C2 - Proc. Intl. Soc. for Optical Engineering (SPIE), Santa Clara, CA, USA DA - 2002-06-01 00:06:00 LA - en PB - Proc. Intl. Soc. for Optical Engineering (SPIE), Santa Clara, CA, USA PY - 2002 TI - Using Carbon Nanotube Cantilevers in Scanning Probe Metrology ER -