TY  - JOUR
AU  - Hilton, Gene
AU  - Beall, James
AU  - Deiker, Steven
AU  - Beyer, Joern
AU  - Vale, Leila
AU  - Ullom, Joel
AU  - Irwin, Kent
C2  - IEEE Transactions on Applied Superconductivity
DA  - 2003-06-01 00:06:00
LA  - en
M1  - 13
PB  - IEEE Transactions on Applied Superconductivity
PY  - 2003
TI  - Surface Micromachining for Transition-Edge Detectors
ER  -