TY  - CONF
AU  - Jacobs, C.
AU  - Genis, A.
AU  - Allen, L.
AU  - Roitman, Peter
C2  - Proc.,  1994 IEEE SOI Conference, Nantucket, MA, USA
DA  - 1994-12-31 00:12:00
LA  - en
PB  - Proc.,  1994 IEEE SOI Conference, Nantucket, MA, USA
PY  - 1994
TI  - Effect of Anneal Temperature on Si/Buried Oxide Interface Roughness of SIMOX
ER  -