TY  - CONF
AU  - Roitman, Peter
AU  - Simons, David
AU  - Chi, P
AU  - Lindstrom, Richard
AU  - Lux, G.
AU  - Baumann, S.
AU  - Novak, S.
AU  - Wilson, R.
AU  - Farrington, D.
AU  - Keenan, J.
AU  - Stevie, F.
AU  - Moore, J.
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C2  - Proc., Seventh International Conference on Secondary Ion Mass Spectrometry (SIMS VII), Monterey, CA, USA
DA  - 1990-12-31 00:12:00
LA  - en
PB  - Proc., Seventh International Conference on Secondary Ion Mass Spectrometry (SIMS VII), Monterey, CA, USA
PY  - 1990
TI  - Round-Robin Study of Implants in Si and SiO<sub>2</sub> by SIMS, RBS, and NAA
ER  -