TY  - CONF
AU  - Park, B
AU  - Choi, J
AU  - Ahn, S
AU  - Kim, D
AU  - Joon, L
AU  - Dixson, Ronald
AU  - Orji, Ndubuisi
AU  - Fu, Joseph
AU  - Vorburger, Theodore
C2  - Proceedings of SPIE, San Jose, CA, US
DA  - 2007-03-01 00:03:00
LA  - en
M1  - 6518
PB  - Proceedings of SPIE, San Jose, CA, US
PY  - 2007
TI  - Application of Carbon Nanotube Probes in a Critical Dimension Atomic Force Microscope
ER  -