TY  - JOUR
AU  - Farrow, R
AU  - Postek, Michael
AU  - Keery, William
AU  - Jones, Samuel
AU  - Lowney, J
AU  - Blakey, M
AU  - Fetter, L
AU  - Liddle, A
AU  - Hopkins, L
AU  - Huggins, H
AU  - Peabody, M
AU  - Novembre, A
AU  - Griffith, J
C2  - Journal of Vacuum Science and Technology
DA  - 1997-11-01 00:11:00
LA  - en
M1  - 15
PB  - Journal of Vacuum Science and Technology
PY  - 1997
TI  - Application of Trasmission Electron Detection to Scalpel Mask Metrology
ER  -