TY - JOUR AU - Slaughter, J AU - Schulze, D AU - Hillis, C AU - Mirone, A AU - Stalio, R AU - Watts, R AU - Tarrio, Charles AU - Lucatorto, Thomas AU - Krumrey, Michael AU - Mueller, P AU - Falco, C C2 - Journal of Applied Physics DA - 1994-01-01 00:01:00 LA - en M1 - 76 PB - Journal of Applied Physics PY - 1994 TI - Structure and Performance of Si/Mo Multilayer Mirrors for the Extreme Ultra-violet, ER -