TY  - HEAR
AU  - Vartanian, Victor
AU  - McClure, Paul
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AU  - Rack, Phillip
AU  - Sitnitsky, Ilona
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AU  - Dunn, Kathleen
DA  - 2010-08-03 00:08:00
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PY  - 2010
TI  - Carbon nanotube applications to scanning probe microscopy for next generation semiconductor metrology
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