TY  - JOUR
AU  - Mozetic, Miran
AU  - Ostrikov, Kostya
AU  - Ruzic, David
AU  - Curreli, Davide
AU  - Cvelbar, Uros
AU  - Vesel, Alenka
AU  - Primc, Gregor
AU  - Leisch, Manfred
AU  - Jousten, Karl
AU  - Malyshev, Oleg
AU  - Hendricks, Jay
AU  - Kover, laszlo
AU  - Tagliaferro, Alberto
AU  - Conde, O
AU  - Silvestre, Antonio
AU  - Giapintzakis, J
AU  - Buljan, M
AU  - Radi?, N
AU  - Dra?i?, G
AU  - Bernstorff, S
AU  - Biederman, H
AU  - Kyli?n, O
AU  - Hanu?, J
AU  - Milo?evi?, S
AU  - Galtayries, A
AU  - Dietrich, P
AU  - Unger, W
AU  - Stana-Kleinschek, K
AU  - Drmota?Petri?, A
AU  - Pireaux, Jean-Jacques
AU  - Rogers, J
AU  - Anderle, M
AU  - Lehocky, M
AU  - Sedlarik, V
C2  - Journal of Physics D-Applied Physics
DA  - 2014-04-09 00:04:00
LA  - en
M1  - 47
PB  - Journal of Physics D-Applied Physics
PY  - 2014
TI  - Recent advances in vacuum sciences and applications
UR  - https://tsapps.nist.gov/publication/get_pdf.cfm?pub_id=914906
ER  -