TY - JOUR AU - Chason, Eric AU - Engwal, Alison AU - Pei, Fei AU - Lafouresse, Manon AU - Bertocci, Ugo AU - Stafford, Gery AU - Murphy, Joseph AU - Lenihan, Catherine AU - Buckley, D. C2 - Journal of the Electrochemical Society DA - 2013-12-13 00:12:00 DO - https://doi.org/10.1149/2.048312jes LA - en M1 - 160 PB - Journal of the Electrochemical Society PY - 2013 TI - Understanding residual stress in electrodeposited Cu thin films ER -